X熒光光譜儀技術已成功應用于環境、食物鏈、動植物、農產品、人體組織細胞及器官、生物醫學材料、組織細胞、醫學試劑、動植物器官、代謝產物中的無機元素測定。 X熒光光譜儀可分為能量色散(EDXRF)和波長色散(WDXRF)兩大類，隨后將詳細介紹。可分析的元素及檢測限主要取決于所用的光譜儀系統。
下面讓我們來了解一下可能造成X熒光光譜儀測量結果出現誤差的因素有哪些吧。
1、由樣品制備和樣品自身引起的誤差：
(1) 樣品的均勻性。
(2) 樣品的表面效應。
(3) 粉末樣品的粒度和處理方法。
(4) 樣品中存在的譜線干擾。
(5) 樣品本身的共存元素影響即基體效應。
(6) 樣品的性質。
(7) 標準樣品的化學值的準確性。
2、引起樣品誤差的原因：
(1)樣品物理狀態不同，樣品的顆粒度、密度、光潔度不一樣;樣品的沾污、吸潮，液體樣品的受熱膨脹，揮發、起泡、結晶及沉淀等。
(2)樣品的組分分布不均勻 樣品組分的偏析、礦物效應等。
(3)樣品的組成不一致 引起吸收、增強效應的差異造成的誤差
(4)被測元素化學結合態的改變 樣品氧化，引起元素百分組成的改變;輕元素化學價態不同時，譜峰發生位移或峰形發生變化引起的誤差。
(5)制樣操作 在制樣過程中的稱量造成的誤差，稀釋比不一致，樣品熔融不*，樣品粉碎混合不均勻，用于合成校準或基準試劑的純度不夠等。
3、樣品種類樣品狀態一般有固體塊狀樣品、粉末樣品和液體樣品等。
(1)固體塊狀樣品 包括黑色金屬、有色金屬、電鍍板、硅片、塑料制品及橡膠制品等，其中金屬材料占了很大的比例。
(2)粉末樣品 包括各種礦產品，水泥及其原材料，金屬冶煉的原材料和副產品如鐵礦石、煤、爐渣等;還有巖石土壤等。
(3)液體樣品 油類產品、水質樣品以及通過化學方法將固體轉換成的溶液等。
4、X熒光光譜儀分析法中不同樣品有不同的制樣方法。金屬樣品如果大小形狀合適，或者經過簡單的切割達到分析的要求，只需表面拋光，液體樣品可以直接分析，大氣塵埃通常收集在濾膜上直接進行分析。而粉末樣品的制樣方法就比較復雜。
